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真空濺射金屬磁控鍍膜機(jī)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

真空濺射金屬磁控鍍膜機(jī)膜厚監(jiān)測(cè)鍍膜機(jī)鄭州科探KT-Z1650PVD,能夠在非導(dǎo)電或?qū)щ姴涣嫉臉悠飞贤坎冀穑ˋu),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時(shí)間內(nèi)即可形成具有細(xì)粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結(jié)構(gòu)緊湊,全自動(dòng)控制,設(shè)計(jì)符合人體工程學(xué),所得結(jié)果一致,可重復(fù)性高。

產(chǎn)品型號(hào):KT-Z1650PVD
更新時(shí)間:2024-04-30
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:1165
詳細(xì)介紹在線留言
品牌鄭科探產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,能源,電子,冶金,航天

鄭州科探儀器設(shè)備是高質(zhì)量定制物理 氣相沉積(PVD)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)者和制造商,客戶服務(wù)和售后服務(wù)出色。擁有7年以上真空和薄膜沉積技術(shù)經(jīng)驗(yàn)。其研發(fā)團(tuán)隊(duì)在學(xué)界科學(xué)家和工程師的支持下,高度積極地開(kāi)發(fā)新設(shè)計(jì)以滿足客戶的特殊要求。

鄭科探的工程團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)和制造的組件符合高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。KT-Z1650PVD真空鍍膜機(jī)已通過(guò)分銷商銷往許多大學(xué)和研究中心,并得到了很好的參考和反饋。

儀器描述:

真空濺射金屬磁控鍍膜機(jī),能夠在非導(dǎo)電或?qū)щ姴涣嫉臉悠飞贤坎冀穑ˋu),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時(shí)間內(nèi)即可形成具有細(xì)粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結(jié)構(gòu)緊湊,全自動(dòng)控制,設(shè)計(jì)符合人體工程學(xué),所得結(jié)果一致,可重復(fù)性高。

產(chǎn)品特點(diǎn):

• 彩色觸摸屏:數(shù)據(jù)輸入簡(jiǎn)單快速。

• 通過(guò)觸摸屏中直觀檢測(cè)數(shù)據(jù)和曲線;歷史頁(yè)面可顯示歷史涂層信息。

• 可控鍍膜速率,可得到更精細(xì)的晶粒結(jié)構(gòu)。

• 可手動(dòng)或自動(dòng),根據(jù)時(shí)間或根據(jù)厚度進(jìn)行濺射。

• 樣品臺(tái)更換簡(jiǎn)單:標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)或選用行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)。標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)高度可調(diào)、可傾斜、可旋轉(zhuǎn);行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)為多孔樣品帶來(lái)好的噴金效果。

真空濺射金屬磁控鍍膜機(jī)

真空濺射金屬磁控鍍膜機(jī)技術(shù)參數(shù):

控制方式

7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

真空

機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺(tái)

可旋轉(zhuǎn)φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

40-105mm

真空測(cè)量

皮拉尼真空計(jì)(已安裝 測(cè)量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口














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