西西人体艺术,免费国产又色又爽又黄的网站,精品成在人线av无码免费看,高h各种姿势调教1v1

技術文章

Technical articles

當前位置:首頁技術文章你并不了解小型濺射儀

你并不了解小型濺射儀

更新時間:2023-04-01點擊次數(shù):1715
小型濺射儀的工作原理是指電子在電場E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞,使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產(chǎn)生的二次電子會受到電場和磁場作用,產(chǎn)生E(電場)×B(磁場)所指的方向漂移,簡稱E×B漂移,其運動軌跡近似一條擺線。
  若為環(huán)形磁場,則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運動,它們的運動路徑不僅很長,而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內(nèi),并且在該區(qū)域中電離出大量的Ar來轟擊靶材,從而實現(xiàn)了高的沉積速率。隨著碰撞次數(shù)的增加,二次電子的能量消耗殆盡,逐漸遠離靶表面,并在電場E的作用下沉積在基片上。由于該電子的能量很低,傳遞給基片的能量很小,致使基片溫升較低。
  小型濺射儀包括:氣路、真空系統(tǒng)、循環(huán)水冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)。其中:
  (1)氣路系統(tǒng):與PECVD系統(tǒng)類似,磁控濺射系統(tǒng)應包括一套完整的氣路系統(tǒng)。但是,與PECVD系統(tǒng)不同的是,PECVD系統(tǒng)中,氣路中為反應氣體的通道。而磁控濺射系統(tǒng)氣路中一般為Ar、N2等氣體。這些氣體并不參與成膜,而是通過發(fā)生輝光放電現(xiàn)象將靶材原子轟擊下來,使靶材原子獲得能量沉積到襯底上成膜。
  (2)真空系統(tǒng):與PECVD系統(tǒng)類似,磁控濺射沉積薄膜前需要將真空腔室抽至高真空。因此,其真空系統(tǒng)也包括機械泵、分子泵這一高真空系統(tǒng)。
  (3)循環(huán)水冷卻系統(tǒng):工作過程中,一些易發(fā)熱部件(如分子泵)需要使用循環(huán)水帶走熱量進行冷卻,以防止部件損壞。
  (4)控制系統(tǒng):綜合控制PECVD系統(tǒng)各部分協(xié)調運轉完成薄膜沉積,一般集成與控制柜。




德国free性video极品| 波多野结衣人妻| 女公浴室xxx偷窃www| 影音先锋资源站| 和六十老女人高潮多次| 老校长不戴套玩新婚老师| 天堂资源8在线| 特级毛片a片久久久久久| 久久久久久久久波多野高潮 | 久久精品人妻一区二区三区| 日本最新男男gayjapan| 欧美性受xxxx88喷潮| 国产偷抇久久精品a片蜜臀a| 国自产拍av在线天天更新| 极品少妇xxxx精品少妇偷拍| 亚洲色无码a片一区二区情欲| 暖暖爱视频免费| 国产人妻人伦精品无码.麻豆| jealousvue成熟五十| 四川少妇bbw搡bbbb槡bbbb| 女人与公拘交酡全过程| 麻豆国产尤物av尤物在线观看| 欲妇荡岳丰满少妇a片24小时| 巴西大屁股妓女bbw| 色婷婷激情av精品影院| 欧美极品jizzhd欧美| 日本欧美久久久久免费播放网| 亚洲午夜无码av毛片久久| 娇小的学生videos16hd| 我被公司领导c了很多次| 亚洲欧洲日产国码高潮AV| 无码任你躁久久久久久老妇| 欧美肥胖老太玩黑人| 公与淑婷厨房猛烈进出| 成熟女人毛片www免费版在线| 欲求不満の人妻松下纱荣子| 按摩硬进去做着做着软了| 凹凸农夫导航十次啦| 重口老熟七十路黑崎礼子| 欧美疯狂做受xxxxx高潮| 国产欧美一区二区精品性色|