西西人体艺术,免费国产又色又爽又黄的网站,精品成在人线av无码免费看,高h各种姿势调教1v1

技術(shù)文章

Technical articles

當(dāng)前位置:首頁技術(shù)文章其實(shí),你并不了解小型濺射儀

其實(shí),你并不了解小型濺射儀

更新時(shí)間:2022-04-26點(diǎn)擊次數(shù):1468
  小型濺射儀的工作原理是指電子在電場(chǎng)E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞,使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場(chǎng)作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產(chǎn)生的二次電子會(huì)受到電場(chǎng)和磁場(chǎng)作用,產(chǎn)生E(電場(chǎng))×B(磁場(chǎng))所指的方向漂移,簡(jiǎn)稱E×B漂移,其運(yùn)動(dòng)軌跡近似一條擺線。
 
  若為環(huán)形磁場(chǎng),則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運(yùn)動(dòng),它們的運(yùn)動(dòng)路徑不僅很長,而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內(nèi),并且在該區(qū)域中電離出大量的Ar來轟擊靶材,從而實(shí)現(xiàn)了高的沉積速率。隨著碰撞次數(shù)的增加,二次電子的能量消耗殆盡,逐漸遠(yuǎn)離靶表面,并在電場(chǎng)E的作用下沉積在基片上。由于該電子的能量很低,傳遞給基片的能量很小,致使基片溫升較低。
 
  小型濺射儀包括:氣路、真空系統(tǒng)、循環(huán)水冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)。其中:
 
  (1)氣路系統(tǒng):與PECVD系統(tǒng)類似,磁控濺射系統(tǒng)應(yīng)包括一套完整的氣路系統(tǒng)。但是,與PECVD系統(tǒng)不同的是,PECVD系統(tǒng)中,氣路中為反應(yīng)氣體的通道。而磁控濺射系統(tǒng)氣路中一般為Ar、N2等氣體。這些氣體并不參與成膜,而是通過發(fā)生輝光放電現(xiàn)象將靶材原子轟擊下來,使靶材原子獲得能量沉積到襯底上成膜。
 
  (2)真空系統(tǒng):與PECVD系統(tǒng)類似,磁控濺射沉積薄膜前需要將真空腔室抽至高真空。因此,其真空系統(tǒng)也包括機(jī)械泵、分子泵這一高真空系統(tǒng)。
 
  (3)循環(huán)水冷卻系統(tǒng):工作過程中,一些易發(fā)熱部件(如分子泵)需要使用循環(huán)水帶走熱量進(jìn)行冷卻,以防止部件損壞。
 
  (4)控制系統(tǒng):綜合控制PECVD系統(tǒng)各部分協(xié)調(diào)運(yùn)轉(zhuǎn)完成薄膜沉積,一般集成與控制柜。
国子监来了个女弟子电视剧免费观看| 抽出含了一整夜的性器液体流出| 五十路○の豊満な肉体| 奇米777 米奇影视狠狠| 人人澡超碰碰97碰碰碰| 国产又粗又大又硬又长又爽| 日韩午夜欧美精品一二三四区| 西西gogo顶级艺术人像摄影| 中英文字幕是不是乱码| 为妺妺检查身体h| 少妇特殊按摩高潮惨叫无码| 精品无码亚洲一区二区三区毛| 久久精品无码一区二区日韩av| 一女被五六个黑人玩坏视频| 娇小的学生videos16hd| av在线免费| 再用点力今晚随你弄| 毛片免费视频| 全文辣肉h短篇春野小农民| 国产女明星裸体xxxx| 亚洲白嫩小受男同gv在线观看| 久久九九久精品国产免费直播| 天天人人爽人人爽人人爽动漫| 男宠用下面叫醒公主h| spy3wc撒spy3wc撒尿| 色噜噜狠狠一区二区三区果冻| 公主恋人ova| 被c哭着爬走又被拉回来挺进h| 国精产品一品二品国精破解| 国产人妻久久精品一区二区三区| 女人被躁到高潮嗷嗷叫视频| 麻豆e奶女教师国产剧情| 国产麻豆剧传媒精品国产av| 黄色电影免费看| 欧美无人区码suv| 蜜桃人妻无码av天堂三区| 古代翁妇乱高h辣文| 久久变态刺激另类sm| 国产精品久久久久久久久久妞妞| 亚洲av无码乱码在线观看 | 调教拨开两唇打花蒂戒尺|