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微型高低溫真空探針臺(tái)高低溫真空探針臺(tái)冷熱臺(tái) 加裝真空位移拉伸夾具 實(shí)現(xiàn)對柔性傳感材料在不同溫度 濕度 氣體濃度 壓力和位移條件下的電學(xué)信號(hào)測試 位移控制分辨率≤5微米 行程20mm 位移過程可采集樣品信號(hào) 熱臺(tái)溫度范圍 高溫60℃低溫-60℃ 機(jī)械泵極限真空小于1Pa

微型真空探針熱臺(tái)KT-Z165M4RT鄭科探廠家KT-Z165M4RT精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái)，臺(tái)面為φ30，臺(tái)面最高可升溫到最高400℃。臺(tái)面四周裝有微型3軸可移動(dòng)鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。