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超低溫真空半導(dǎo)體制冷臺

產(chǎn)品簡介

超低溫真空半導(dǎo)體制冷臺主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺,臺面為φ30,臺面可升溫到400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針,特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2024-03-29
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:4359
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品牌其他品牌價格區(qū)間面議
自動化度手動產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域電子

  主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺,臺面為φ30,臺面可升溫到400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針,特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。

  超低溫真空半導(dǎo)體制冷臺設(shè)計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達<5Pa分子泵可達<-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭,保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件在加熱臺,探針處由3軸可移動探針手動調(diào)節(jié)移動至被測試器件的引腳處,外部信號線連接測試儀器來測試電學(xué)信號。

 

 

 

 

 

 

超低溫真空半導(dǎo)體制冷臺技術(shù)參數(shù)

加熱溫度

35-350℃

溫控誤差

±1℃

熱電偶類型

PT100高精度傳感器

溫控表

宇電溫控器

程序控溫

1段(可選30段程序控溫表)

加熱功率

300W

加熱電源

AC220v

尺寸

230x230x125MM

重量

6kg

真空探針熱臺

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

加工方式

一體式CNC精加工

內(nèi)腔體尺寸

137X57X21mm  容積165ML

加熱臺尺寸

Φ30mm

觀察窗內(nèi)徑

Φ46mm

觀察窗材質(zhì)

高透光石英玻璃

加熱溫度

400℃

注意:熱臺溫度和樣品溫度存在偏差 客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺面測量熱電阻值對應(yīng)分度值做校準(zhǔn)。

信號輸出頭

SMA母頭   配線 SMA轉(zhuǎn)BNC  1.5米

電學(xué)性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質(zhì)耐壓 500V

抽氣口

KF16

進氣口

6MM卡套

使用正壓

≤O.05MPa

使用負壓

機械泵可獲得真空≤10Pa  分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa

觀察窗內(nèi)徑

φ45

移動探針

探針規(guī)格

探針粗Φ0.5mm    探針尖 10μm

上下移動距離

2mm

前后移動距離

20mm

左右旋轉(zhuǎn)距離

120°

 

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